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供应商: 上海蓝箭鸿擎科技有限公司
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真空系统主体结构中2.0x5.0m,具备一台粗抽干泵、一台低温泵、一台气泵、一台氮泵,通过不同泵的组合,能够实现气气和氮气工质1x10-5-4.5x10 - 4Torr动态真空,能实现1x10 - 8Torrde 极限真空。