微推力测量系统主要由测量台架、信号放大与调理箱、工控电脑三个部分组成。

推力测量系统性能指标： 

最小推力分辨率：小型推力测量系统0.1uN 

推力测试精度：0.1%FS 

推力测量范围：小型推力测量系统1uN~1mN 

                         中型推力测量系统10uN~10mN 

                         大型推力测量系统10mN~1000mN 

承重能力： 小型推力测量系统最大2kg 

                   中型推力测量系统最大6kg 

                   大型推力测量系统最大50kg 

响应时间：动态推力测量响应时间小于0.1s 

测试设备的零点漂移：小于量程的0.5%，测试设备零点漂移和温度漂移可通过标定过程自动补偿.

推力测量系统设备工作环境条件： 

（1）工作环境条件：工作真空度：1.0×10-4Pa～1.0×10-2Pa；推力测量设备可耐受温度达 100℃； 

（2）贮存环境条件：相对湿度 20%～80%；环境温度范围 -20℃～40℃。