WST-SR-100显微式反射式膜厚测量系统可用于测量半导体镀膜。具体包括但 不限 于氧化硅，氮化硅，多晶硅，PI ，光刻胶等透明半透明的材料，测量范围在 1纳米到30 微米。光斑小于40微米。WST-SR-100可根据客户给出的Die分布图和标 记，对整个硅 片进行自动寻找，自动测量。  WST-SR-100进行测量简单可靠，实际测量采样时间低于 1 秒。Apris SpectraSys  支 持 20 层膜以内的模型并可对 多层膜厚参数进行测量。Apris SpectraSys 软件还拥  有近千种材料的材料数据库，同时支持 函数型(Cauchy, Cauchy-Urbach,Sellmeier),  物理光学（Drude-Lorentz,Tauc-Lorentz）,混合型 （Maxwell Garnett, Bruggeman）  EMA 等折射率模型。 同时，客户还可以通过软件自带数据库对材料，菜单进行 管理并 回溯检查测量结果。