卫星及载荷制造
火箭制造与发射
地面终端与设施
材料与电子元器件
卫星应用服务
试验、检测及其他服务
系统软件与数据
配套工具与设备
Ø 可实现最高300片/小时产率的高性能晶圆搬运系统，系统采用了高 性能机械手臂和校准器
Ø 符合SEMI标准（E15.1-0600, E57-0600, E62-0999, E63/4-0600)
Ø Aligner具有Buffer功能，能够实现晶圆的更换动作，提高了设备的 Throughput
Ø 配备ID Reader，能够读取晶圆的ID信息（晶圆正反面对应为选配）
Ø 上述标准规格之外，以下规格的产品也可以定制
1. 4 FOUP对向摆放（Throughput为400片/h）
2. 4 FOUP的inline类型（Throughput为600片/h）
