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半导体晶圆外观检测设备2

价格: 面议

供应商: 南京韦森特半导体设备有限公司

交付周期: 面议

产品类型: 定制产品

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产品详情

Ø 晶圆外观检测(单面检测/双面检测)

Ø 自动选择倍率:3X/5X可选

Ø 最高分辨率:0.9um

Ø 产能(6寸):30pcs/h(5X单道光、分辨率1.1um)

Ø 自动复判及分类

Ø 兼容 4’-6’-8’wafer

Ø 明场检测及暗场检测

Ø 适用于适用于 SIC ,光通信,IC Disco ring &bare wafer or  wafer ring

Ø 优势:机器学习&特检&AI检测算法三道卡控、定制化报表

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